表 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
注:①每个采样点应至少采样3次;
②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性,化学性,放射性及生命性;
③根据工艺要求确定1～2种粒径;
④各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn由公式(3.0.1)确定,要求的粒径在0.1～5µm范围,包括0.1µm及5µm。
式中 Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。Cn是以四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数；
N——洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量；
D——要求的粒径(µm)；
0.1——常数,其量纲为µm；
空气洁净度等级所处状态(空态,静态,动态)应与业主协商确定。 |
